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磁控溅射金属靶时,无法起辉的原因有很多,常见主要原原因有: 1. 靶材安装准确否? 2. 靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质,打磨清理干净后即可 3. 起辉电源是否正常------------检查靶电源 4. 靶与地线之间短路 ----------关掉机器,把设备的溅射靶卸下来,靶附近的零件仔细清洗一下; ----------压靶盖旋的过紧,没有和靶材之间留下适当的距离,调整距离即可。 5. 永磁靶表面场强是否下降太多? ---------如果下降太多,需要更换磁钢。 6. 起辉溅射真空度与前次的差别? ---------更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。 换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉
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