关键索引词：

 MEMS 微机电系统

 MEMS传感器

 MEMS 光学扫描仪

 微机械陀螺仪

 MEMS简介：

    微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。

MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。

MEMS是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。

MEMS光栅应用测试：

    MEMS光栅采用了硅微加工工艺技术，在外力作用下使光栅的某些特征参数（如周期、光栅等常数）发生改变，从而实时改变光栅的工作性能，实现光栅的可编程应用。基于其独特的优势，MEMS光栅已经用于光通信、高清显示设备、光谱分析等领域。MEMS光栅具有多种驱动方式，而静电驱动的 MEMS光栅， 由于其工艺易于实现、耗能低、频率响应高，因此是常用的驱动方式。的光栅光阀（GLV）和气体探测器（Polychromix） 都是采用静电驱动的。 静电驱动的可编程光栅还存在某些不足。静电驱动的能量密度较小，当结构需要比较大的工作 位移（微米级），就必须增大驱动电压，驱动电压甚 至达到上百伏。当结构受静电力作用，由于机械结构特有的惯性而产生弹性振荡，增大系统延迟。实际工作时，光栅等效电容会随光栅梁位移的改变而变化，导致驱动电路容性负载的变化。这些都为设计驱动电路带来困难。 因此，MEMS光栅的工作性能很大程度上依赖于驱动放大器的性能。

MEMS测试功率放大器：

西安安泰电子科技有限公司生产的ATA-2000系列高压放大器提供了DC-1.5MHz的带宽，170Vpp~1600Vpp的输出电压范围，40mA~500mA的电流输出能力，是新型的MEMS相关应用的动态驱动研发测试的理想选择。

    ATA-2000系列高压放大器，可以输出理想的单端及差分信号，为MEMS领域的研究提供了快捷的工具。同时该系列功率放大器，设计了良好的过压，过流，短路保护装置，同时为了更好的为MEMS测试客户应用，提供的完善的阻抗匹配网络，方便用户选择对应的匹配阻抗。

    ATA-2000系列高压放大器的增益数控可调，通过0.1的步进对于信号进行精准放大，方便用户调试。同时具有100:1的信号监控口，方便用户实时观测输出波形的变化。采用液晶显示，操作简单易懂。