臭氧发生器是用于制取臭氧气体（O3）的装置。臭氧易于分解无法储存，需现场制取现场使用（特殊的情况下可进行短时间的储存），所以凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在饮用水，污水，工氧化，食品加工和保鲜，医合成，空间灭菌等领域广泛应用。 臭氧发生器产生的臭氧气体可以直接利用，也可以通过混合装置和液体混合参与反应。
获得方法
利用高压电离(或化学、光化学反应)，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧，是氧的同素异形转变过程;亦可利用电解水法获得。臭氧的不稳定性使其很难实现瓶装贮存 ，一般只能利用臭氧发生器现场生产，随产随用。 臭氧发生器的分类 按臭氧产生的方式划分，臭氧发生器主要有三种：一是高压放电式，二是紫外线照射式，三是电解式。
臭氧发生器参数
臭氧浓度
臭氧为混合气体其浓度通常按比和体积比来表示。比是指单位体积内混合气体中含有多少的臭氧，常用单位mg/L、mg/m3或g/m3等表示。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含或百分比含，使用百分比表示如2%、5%、12%等。卫生行常用ppm表示臭氧浓度，即每立方臭氧混合气体中臭氧占该体积的百万分为1ppm。臭氧浓度是衡臭氧发生器技术含和性能的重要指标。同等的工况条件下臭氧输出浓度越高其品度越高。
影响臭氧浓度的主要因素有
1、臭氧发生器的结构和加工精度；
2、冷却方式和条件；
3、驱动电压和驱动频率；
4、介电体材料；
5、原料气体中氧的含及洁净和干燥度。
6、发生器电源系统的效率（，热转化少。）；
臭氧是一种氧化性极强的不稳定气体，臭氧输出浓度受多种因素的影响，其中腔体温度是极重要的因素；臭氧在30度左右时会在1分钟内衰减一半。在 40~50℃ 时衰减达到80%。超过60℃臭氧会分解。
臭氧产是指臭氧发生器单位时间内臭氧的产出；臭氧浓度数值与进入臭氧发生器总气数值的乘积即为臭氧产；通常使用mg/h,g/h,kg/h这些单位表示。臭氧发生器标准中规定臭氧发生器规格型号使用臭氧产表示和区分。小型臭氧发生器使用g/h为单位，大型臭氧发生器使用kg/h为单位区分规格的大小。
2011年国家出台了新的国家标准，次规范了臭氧在不同用途中的浓度。
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