超高频感应区熔法晶体增长设备主要应用领域:区熔法晶体生长需要一根多晶棒和浇铸在模子里的掺杂物。籽晶熔合到棒的一端。夹持器装在单晶炉里。当高频线圈加热多晶棒和籽晶的界面时,多晶到单晶的转变开始了。线圈沿着多晶棒的轴移动,一点点把多晶棒加热到液相点。在每一个熔化的区域,原子排列成末端籽晶的方向。这样整个棒以开始籽晶的定向转变成一个单晶。目前,该超高频感应区熔法晶体增长设备是高熔点硼化物、碳化物、无机非金属氧化物晶体材料的生长主要设备。 采用阿卡德晶体增长装置的点:1. 高频开关变换技术解决了单晶硅磁场加热炉的振动和噪音问题,提高产品品,改善工作环境。2. 工作,比可控硅电源提高10%-20%,节电效果显著,提升客户竞争力;3. 采用IGBT高频开关变换和波形闭环控制技术,输出波形品高,相应速度快、动态性能好;4. 输出具有截流功能,并设计过载保护停机功能,能很好的保护加热炉,即使加热,炉在短路时也不会受到严重损坏;5. 模块化、冗余设计,在一个模块损坏时电源仍能工作在额定工况下,大大提高电源可靠性;6. 输出具有恒压、恒流、恒功率模式切换功能;进线电流同比减少约40%,可使用小截面积进线电缆;7.功率因数高,谐波电流小,是我公司拥有自主的的高因数单晶炉电源,用户无需再配补偿和滤波装置;8、原边调压,零电压软启动,整流变无空载损耗;调压可控硅发热少,使用寿命大大延长;9、电源柜体结构紧凑,占地面积小;风冷散热模式,解决了整流变压器散热问题。12、阿卡德通过对原有 18 英寸及 20 英寸单晶炉热场系统的加热温区梯度、加热器的材料、电阻加热器和保温材料温度传导性的研究,提出通过改变单晶炉热场抽气口、改变保护气体流动方向、设计新型辐射隔绝导流筒和重新选择加热器保温材料等方法,化了热场结构和温区梯度,开发出了低功耗和高拉速的节能型 18 英寸和 20 英寸热场装置。13、新型阿卡德单晶硅生产设备引晶功率已由原来的 75.2KW 降至 58.5KW,硅单晶生长周期已有原来的 47 小时降至 39小时 42 分钟,能耗降低 29.4%。据此对实施的 20 兆瓦单晶硅项目节能情况分析,引晶时单台炉子每小时节省 16.7Kw,一炉单晶硅生长周期按 40 小时计算,每炉可节省 668 度电左右,按 13 炉/月计算,单台炉子每年节省电能至少 104208 度,以电价 0.5 元/度计算,20 台炉子全年可节省电费 104.2 万元,该项研究成果既大大降低了生产能耗又降低了生产成本,达到节能降耗的理想目标。 应用案例:区熔单晶硅 区熔锗锭高熔点硼化物晶体材料 高熔点碳化物晶体材料无机非金属氧化物晶体材料
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