| 1、产品说明:门为种类小流气体测和过程控制设计的微机电气体流传感器可根据客户的具体应用要求来订做。这类传感器均采用美国矽翔公司自主研发的微机电系统（MEMS）流传感芯片制作。产品用于各类清洁气体的应用。独特的封装技术使之可用各类管径（1~20mm）。成本低，易安装、不需温压补偿，可替代容积式或压差原理的传统流计并可配以多种输出，通过通讯接口实现网络管理功能。2、产品技术参数及选型:适用介：非炸/腐蚀；清洁气体压力/温度：常压/-5~50℃通径范围：8mm测范围:0.01~6m/s(20SLPM)测精度:±(1.5+0.5FS)%重复性:±0.75%供电:8~24V输出:RS485；安装连接:NPT
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