无尘车间净化工程百级千级洁净车间

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无尘车间简介：

无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘车间分类方式：

一、按方式分类可分两种：

1.乱流式无尘车间

空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器进入无尘室，并由无尘室两侧隔间 墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级 别（换气次数越多，净化级别越高） 。此型式适用于无尘室等级 1,000-100,000 级。

点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并 用无尘工作台，提高无尘室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运 转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

2.层流式无尘车间

层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率 之过滤器进入室内，并由 高架地板或两侧隔墙板回风， 此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室 等级为 Class 1~100。

二，其型式分类可分为三种：

(1)水平层流式：平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃 随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。(2)垂直层流式 垂直层流式：

(2)垂直层流式：房间天花板完全以超高效空气过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作状态或作人员所影 响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，更换过滤器较麻烦。

(3)复合式无尘车间：

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

1,洁净隧道：以高效或超高效空气过滤器将制程区域或工作区域 覆盖使洁净度等级提高至10 级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作人员之工作区与产品和机器予以隔离，以避免机器时影响了工作及品，ULSI 制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项点：A.弹性扩充容易；B.设备时可在区轻易执行。

2,洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度 等级提至100 级以上。因产品和作员及发尘环境相互隔离，少之送风即可得到良好之洁1 / 20 品管理漃漠的龙净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。品、食品界及半导体界 均适用。

3,并装局部无尘室：将无尘室等级 10,000~100,000 之乱流无尘室内之产 品制程区的洁净度等级提高为10~1000 级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级1~100 级。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独 立之 HEPA 或 ULPA 及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为 10~1000 级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2 以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

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