| 硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体
一、磷化氢气体检测仪传感器选型
二、硅烷（SIH4)传感器技术参数：
产品名称：高精度硅烷 传感器 SIH4/C-50
产品主要参数：
测范围：0～50ppm
大负载：ND
工作寿命：空气中2年
输出：1000±300nA/ppm
分辨率：0.2 ppm
温度范围：-40°C to 45°C
压力范围:标准大气压± 10%
响应时间(T90)：﹤60sec
相对湿度范围：15%to90%
典型线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm
大零点漂移（20°C to 40°C）：ND
输出漂移：﹤2% signal loss/months
推荐加载电阻：10 Ω
偏置电压：不需要
产品名称：高精度硅烷 传感器 SIH4/M-50
产品主要参数：
测范围：0～50ppm
大负载：ND
工作寿命：空气中2年
输出：500±60nA/ppm
分辨率：0.3 ppm
温度范围：-40°C to 50°C
压力范围:标准大气压± 10%
响应时间(T90)：﹤60sec
相对湿度范围：15%to90%
典型线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm
大零点漂移（20°C to 40°C）：ND
输出漂移：﹤2% signal loss/months
推荐加载电阻：10 Ω
偏置电压：不需要
产品名称：高精度硅烷 传感器 SIH4/S-50
产品主要参数：
测范围：0～50ppm
大负载：ND
工作寿命：空气中2年
输出：1000±300nA/ppm
分辨率：0.2 ppm
温度范围：-40°C to 45°C
压力范围:标准大气压± 10%
响应时间(T90)：﹤60sec
相对湿度范围：15%to90%
典型线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm
大零点漂移（20°C to 40°C）：ND
输出漂移：﹤2% signal loss/months
推荐加载电阻：10 Ω
偏置电压：不需要
三．SIH4传感器结构
四．SIH4智能模块开发方案
模块特色：
1. 选用的进口电化学传感器，使用寿命长；
2. 选用高精度的运放和电源IC，性能稳定，灵敏可靠；
3、可以精确检测低浓度或高浓度的有气体；
4、产品设计抗能力强、超程保护、反极性保护和防保护；
5、产品设计低功耗，网络RS485输出；
6、模块传感器的安装方式：泵吸式、扩散式、法兰式、法兰螺纹式；
主要参数指标：
检测原理：电化学原理
安装方式：扩散式、泵吸式、法兰式、螺纹式
响应时间：30 S～40 S（传感器的响应速度）
检测精度：≤±3%FS（实际浓度，更高精度视具体传感器而定）
重 复 性：≤±2%
性线误差：≤±2%
零点漂移：≤±2%（F.S/年）
工作温度：－40～50℃
工作湿度：15-90%RH (无结露)
输出：数字TTL输出 、RS485输出、4-20mA输出
工作电压：DC 12-36 V
五．PH3传感器应用
硅烷（SIH4）传感器广泛应用于微电子、光电子工， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今上的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。
现在电子气体的使用越来越多，半导体的生产、LED的生产、晶体加工、精密加工等行带来很多麻烦，这些气的检测都离不开SIH4.
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六．SIH4传感器图片
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深圳市富安达提供各种气体传感器（电化学式）：氧气传感器，氨气传感器，氨气传感器模块，氯气传感器，氢气传感器，一氧化碳传感器，二氧化碳传感器，一氧化氮传感器，二氧化氮传感器，化氢传感器，二氧化传感器，甲醛传感器，臭氧传感器，氢传感器，红外传感器，VOC检测传感器，红外气体探测器，6传感器
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