FS4001小流气体流传感器
FS4001流传感器简介：
产品简介：
FS4001小流气体流传感器是门为各类小流气体的测和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测不同范围的流，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
产品特点：
传感器灵敏度高，有极小的始动流
传感器芯片采用热流计，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计
在单个芯片上实现了多传感器集成，使其程比达到了100:1甚至更高
贴壁式安装，无直管段要求，易于安装与使用
输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)或由上位机查询输出数据(RS232 / I2C)，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
零点稳定度高
全程高稳定性、高精确度和良的重复性
低功耗、低压损
响应速度快
FS4001流传感器参数：
机械尺寸：
技术参数：
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FS4001
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程范围
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0～20,50,200,500,1000,或根据客户需求
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sccm
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程比
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>100：1
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精度
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±（1.5±0.2FS）
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%
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重复性
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±0.75
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%
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零点输出飘逸
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±30
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mV
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输出飘逸
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0.16
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%/oc
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响应时间
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100（默认，50，100，200，500，100设置）
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ms
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工作电源
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8~18Vdc,50mA
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输出方式
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RS232,I2C,模拟电压0.5~4.5Vdc
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大流压损
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900
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Pa
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大流压力
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0.8
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MPa
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工作温度
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-5~+45
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oC
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存储温度
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-20~+55
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oC
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工作湿度
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<95%RH(无结冰、无凝露)
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机械接口
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M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接头（配转接模块）
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校准方式
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空气（或其他气体），20oC,101.325kPa
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重
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17.5
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g
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