商品描述：
充氮充氦氟油检漏平台是对半导体器件进行密封性、可靠性粗检漏的用设备。这是密封电子器件背压法氦谱检漏的配套设备，由两部分组成。部分是被检密封器件压氮。第二部分是对被检密封器件压氟油。
这套设备有手动和PLC自动控制两种类型；有液面高度自动控制和过程状态显示‘压氦和压氟油分开，各自独立进行，灵活且互不干扰；关键零部件，如阀门、管道、法兰、压力罐和储油罐等，均用不锈钢制造。滤油罐可滤除5?m的固体颗粒，确保氟油清洁。
该设备与氦谱检漏仪配合，能够完成GJB36A-96、GJB548-96A和GJB128A-97标准中规定的对点子和半导体器件的检漏要求。
主要技术指标
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压力表
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数字式
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真空度
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≤50Pa
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充氦压力
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0.2～1.0Mpa，可调
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指示液温度（FC43）温度
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（125±5）℃
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保压时间
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1～10h，可调
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