精度高
可检漏率低至5x10-7mbarl/s,相当于0.1克/年的漏率，与氦检吸枪法精度相同，高于卤素检漏仪，远远高于保压法和水泡法。
安全性好
5%氢气与95%氮气的混合气体是标准（10156）的安全不可燃气体，无毒性和腐蚀性，绿色环保，也不会对设备和环境产生不利影响。
适用性广
氢气检漏和氦气检漏、卤素检漏及水泡法或压降法检漏的原理类似，均是在被检工件内部充注高压气体，只是充注的气体不同。由这几种检漏方法转换为氮氢检漏非常方便，只要改变气源，用氢气检漏仪进行检漏即可。
气体成本低廉
与价格日益上涨，且越来越难以保证供应的氦气相比，5%氢气+95%氮气非常容易制备，是一种工标准安全气体，在各地都很容易买到。
由于氦气属于稀有的气体，而又属于贫氦国，因此国内的大批氦气供应基本上都要依靠国外进口。随着氦气资源的紧缺以及由此带来的价格的一路高涨，今后氦气的供应可能会更加受到限制。
维护成本低
氢气检漏仪本身内部没有真空泵、阀门等活动部件，因此无须对检漏模块进行维护，可以节省大的维护费用。
对检漏环境要求不高
与氦气相比，氢气的分子小，逃逸性，粘滞性极低，不容易吸附在材料表面对本底环境造成影响，因此氢气检漏技术对本底环境要求要远低于氦检漏技术。另外，空气中氢气的含为0.5ppm，远低于氦气的5ppm，空气本底对检漏的影响更小。
响应速度快
氢气检漏仪的分析元件在探棒部分，不像氦气检漏仪那样需要将气体通过管道吸入到谱室进行分析，所以响应时间很短，在1s内即有响应。
小巧便携，方便移动
体积小、重轻。
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