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四氟甲烷，亦称四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。相对分子：88.00。在常温下，四氟甲烷是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。液体密度（-130℃）1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74Mpa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5Mpa）1.0006。挥发性较高，是稳定的有机化合物，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015％（重比），然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险性类别为第2.2类不燃气体。
用途
四氟甲烷是目前微电子工中用大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大使用。
R-14（CF4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、Freon 14、PFC-14、FC-14、R14）
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冷媒名称
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R-14
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冷媒名称
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R-14
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沸点（1atm），℃
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-128.1
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破坏臭氧潜能值（ODP）
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0
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饱和蒸气压（-150.7℃），kPa
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13.33
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变暖潜能值(GWP，100 yr)
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5700
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临界温度，℃
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-45.6
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燃烧
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不可燃
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临界压力，MPa
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3.75
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ASHRAE安全级别
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A1（无毒不可燃）
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主要应用
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R14主要用于超低温（深冷）复叠式制冷设备中，R14也是低温配合冷媒的重要组分；四氟化碳（别名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14）是目前微电子工中用大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大使用。
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包装规格
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钢瓶包装，5kg/瓶，32.8kg/瓶。
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包装运输
四氟化碳（R14）对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5MPa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。钢瓶包装：5kg/瓶，35kg/瓶
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