真空伺服电机,高低温伺服电机,高温伺服电机,低温伺服电机,真 空 减 速 机 可配合本目录中所列步进电机和伺服电机使用 标准化设计制造40、60、80三种规格,可其它规格 工作环境温度-196℃至+200℃ 适用真空度10-7 Pa 额定扭矩 5-50 大扭矩 10-100 额定输入转速 2000 rpm 大输入转速 3500 rpm 背隙 20-40 Arcmin