您好, 欢迎来到1024商务网   [请登录]  [免费注册]  忘记密码
首页 新闻资讯 产品大全 企业 求购 品牌
企业 动态 用户在搜:盖板模具 礼堂椅 常熟车床 二手压路机 电动执行器 武汉复合板 光固化树脂 过热蒸汽发生器 义乌饰品 吊篮,懒人椅 洛阳压路机 配电网一体化测控终端 有线电视可变均衡器 
当前位置:首页 > 产品大全 > 仪器仪表 > 实验仪器装置 > 北京维意真空原子层沉积镀膜设备ALD 更新时间:2020-04-09

北京维意真空原子层沉积镀膜设备ALD

北京维意真空原子层沉积镀膜设备ALD
供应商 北京维意真空技术应用有限责任公司 商 铺
认证普通会员
报价238000元
型号T-ALD
品牌维意真空
产能12台每年
起订1
交货期90天
所在地北京市大兴区旧桥路25号院3-1203室
联系电话4006521586
手机号15611171559
联系人于磊 联系时请一定说明在1024商务网看到
在线咨询点击这里给我发消息 <<纠正以上所有信息>>

产品详情

一、设备概述:
      T-ALD原子层沉积系统是门为科研和工小型化产用户而设计的多片沉积系统。该系统电气完全CE标准,广泛应用于微电子、纳米材料、光学薄膜、太阳能电池等领域。

二、产品势:

       的软件控制系统:系统集工艺配方、参数设置、权限设定、互锁报警、状态监控等功能于一体

三、技术指标:

   基片尺寸 8英寸及以下尺寸
    基片加热温度 室温~300℃
   前驱体源路数 标准3路前驱体管路,可选配
   前驱体管路温度 室温~200℃,控制精度±0.1℃
   源瓶加热温度 室温~200℃,控制精度±0.1℃
   ALD阀 Swagelok快速高温ALD用阀
   本底真空 <5x10-3Torr,进口防腐泵(标配国产机械泵)
   载气系统 N2或者Ar
   长模式 连续和停留沉积模式任意选择
   控制系统 PLC+触摸屏或者显示器
   电源 50-60Hz,220V/20A交流电源
   沉积非均匀性 非均匀性<±1%
   设备尺寸 600mm x 600mm x 1100mm

四、可沉积薄膜种类:

       单 :Co, Cu, Ta, Ti, W, Ge, Pt, Ru, Ni, Fe…
   氮化物:TiN, SiN, AlN, TaN, ZrN, HfN, WN …
   氧化物:TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2
   其它化合物:GaAs, AlP, InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO3,SrTaO6

五、ALD应用实例:

     存储容性电介,铜互连中高深宽比扩散阻挡层,OLED无针孔钝化层,MEMS的高均匀镀膜,纳米多孔结构镀膜,特种光纤掺杂,太阳能电池,平板显示器,光学薄膜,其它各类特殊结构纳米薄膜

上一条产品:供应香水盖子东莞锌合金香水盖生产厂家支持    下一条产品:IBM服务器维修 x3650服务器亮黄灯报警
该会员还发布了以下产品:(查看更多)
北京维意真空电极法兰
北京维意真空电极法兰
北京维意真空光纤法兰
北京维意真空光纤法兰
北京维意真空观察窗
北京维意真空观察窗
北京维意真空真空配件
北京维意真空真空配件
关于北京维意真空技术应用有限责任公司商铺首页 | 更多产品 | 联系方式 | 黄页介绍
主营:ALD,高低温真空探针台,磁控溅射镀膜机,热蒸发镀膜机,真空室
北京维意真空技术应用有限责任公司,原名北京科立方真空技术应用有限公司,创立于2013年6月,主体经营分为真空配件销售、真空设备、浅蓝纳米科技三个部分,是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的性的公司,公司拥有一支、秀的产品技术工程师和维修技术工程师,具有丰富的行经验。公司于2016年初至2017年末,陆续投入大研...
小提示:
1、以上信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责,1024商务网对此不承担任何责任。提醒大家小心警惕,慎防网上欺诈!
2、【北京维意真空原子层沉积镀膜设备ALD】 并非你需要的产品?你也可以看看以下关于实验仪器装置的其他产品或者直接发布求购信息!
相关文章
相关搜索: 镀膜玻璃 镀膜层检测   电沉积工程镀铬层   气相沉积镀膜冷冻机   气相沉积镀膜   金的沉积设备   天寒真空沉积   真空沉积   薄膜沉积设备进口   塑料真空沉积有涂料   ALD   北京意先热水器售后维   离子束溅射沉积设备、   真空多弧离子镀膜设备   不锈钢真空离子镀膜设备   磁砖真空离子镀膜设备   铝离子气相沉积镀膜机  
相关产品分类:
相关公司分类:
 
关于我们 - 广告服务 - 使用手册 - 联系我们 - 法律声明 - 友情链接 - 删除或修改信息 - 网站地图
本站信息由会员自主添加,如涉及隐私等,网站不承担任何责任!如发现侵权违规等问题请发邮件至XXX#qq.com(#用@代替)或在线留言联系删除。
版权所有 1024商务网 浙ICP备12020213号-1 客服QQ: 微信号: