深圳蓝之宇电子有限公司是日本OKI和美国SMI在的授权商,销售OKI的各种型号干簧管和SMI的各种型号Mems压力传感器和压力芯片及晶圆。微差压变送器、全自动透气性测试仪、YG461/YG461D型数字式织物透气仪和透气仪美国SMI微差压传感器,如:SM5470、SM5651/SM5652、SM5852、SM5882等,其中SM5651/SM5652在纺织透气中的应用性价比非常高。SM5651/SM5652压阻式压力传感器SM5651/SM5652为OEM压力传感器,完全校准和温度补偿微差压双列直插高性能压力传感器。 SM5651/SM5652系列为陶瓷底贴装高稳定压阻式压力传感器芯片,利用陶瓷板上的薄膜电阻进行零度校正、零点温度补偿和灵敏度温度补偿。SM5651只能用恒流驱动,一个额外的电阻修剪正常化的外部差分放大器的输出提供了跨度校准。而SM5652在恒压激励下对输出很容易进行放大。 SM5651芯片有额外的增益电阻,采用恒流激励,SM5652采用恒压激励。特点 应用l 微压0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psil 恒流或恒压激励l 温度补偿范围宽(0-60℃)l 跨度校准正高达±2%l 零点校准及温度补偿l 高性能、稳定的硅芯片封装l 表压和差压配置 l 医疗设备l 呼吸机、机和监护仪l HVAC(空调)l 水平监测l 流测l 工控制l 微差压变送器 性能参数测试的条件是:SM5651激励电流源为1.5mA,室温为25℃;SM5652激励电压源为10.00V DC,室温25℃,除非另有规定。 小值 典型值 大值 单位 激励源 激励电压源 DC(SM5652) >0 10.00 20.00 V 激励电流源 DC(SM5651) >0 1.50 3.00 mA 满程输出 SM5651满程输出 25.0 45.0 75.0 mV SM5652满程输出 24.5 25.0 25.5 mV 零点输出 -2.00 +0.20 2.00 mV 温度系数 满程温度系数 -0.65 +0.20 0.65 %FS 零点温度系数 -1.00 +0.20 1.00 %FS 温度迟滞性 -0.30 +0.05 0.30 %FS 准确度 线性度(非线性误差) -0.30 +0.05 +0.30 %FS 重复性 -0.30 +0.05 +0.30 %FS 压力迟滞性 -0.30 +0.05 +0.30 %FS 灵敏度匹配性 -2.0 -0.2 +2.0 %FS 阻抗(SM5651) 输入阻抗 1.80 3.00 3.80 kΩ 输出阻抗 2.70 3.30 3.80 kΩ 阻抗(SM5652) 输入阻抗 4.50 8.00 25.00 kΩ 输出阻抗 2.00 2.50 3.80 kΩ 温度范围 补偿温度 +0 +60 ℃ 工作温度 -40 +125 ℃ 存储温度 -40 +125 ℃ 动力特性 耐压 10ⅹ Rated FS 破压力 15ⅹ Rated FS 备注:1、正压指的是从晶圆底部进入;增益,在工厂校准使用的是负压2、对于SM5652,程为0.15psi的满程输出是23.75mV(小)至26.25(大)3、测温度超过22~58℃ 对于程为0.15psi,满程温度系数为±2%FS;零点温度系数为±2%FS;对于程为0.3psi,满程温度系数为±0.75%FS4、对于程为0.3psi,迟滞性为±0.45%FS;对于程为0.15psi,迟滞性为±0.65%FS5、佳直线拟合,是从晶圆顶部测的 对于程为0.3psi,线性度为±0.5%FS;对于程为0.15psi,线性度为±2.5%FS6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度,对于程为0.15psi,灵敏度匹配性为5.0%FS |
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