| 一.SJ6000激光干涉仪显著特点1.测精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测单位，分辨率可达nm级③使用高速光电采样和处理技术，测速度可达到4m/s。④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测精度⑤分离式干涉镜设计，避免了测镜组由于主机发热而引起的镜组形变2. 应用范围广①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何的检测②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析③ 可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析3.软件界面友好 ①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。②将静态测和动态测两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测类型。③向导式操作，流程清晰，更国内用户的使用习惯。 4 性价比高性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。 二.SJ6000激光干涉仪用途SJ6000激光干涉仪产品具有测精度高、测速度快、高测速下分辨率高、测范围大等点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测数控机床的精度、重复精度、微位移精度等动态参，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。三.SJ6000激光干涉仪技术参数 系统性能2 测方式：单频2 稳频精度：0.05ppm2 动态采集频率：50kHz2 预热时间：5-10分钟2 工作温度范围：0~40℃2 环境温度范围：0~40℃2 存储温度范围：-20℃~70℃ 环境补偿示值误差2 空气温度传感器：±0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃2 材料温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃2 空气湿度传感器：±6％(0-95％)2 大气压力传感器：±1mBar(650-1150mbar) 线性测2 测距离：0-40m2 测精度：0.5ppm(0-40℃)2 测分辨率：1nm2 测大速度：4m/sec四.SJ6000激光干涉仪内置标准230-2老版标准230-1997新版标准ANSI B5.54美国国家标准ASME B89.1.12M美国机械工程师协会标准NMTBA美国机床协会标准BS 3800 英国机床标准BS 4656英国三测机标准JIS B6330 日本国家标准GB 17421-2000国家标准VDI 3441德国机床标准 |
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