光栅母板刻划机床

超精密单点金刚石削机床

（1.4纳米的分辨率，加工精度小于0.1微米）

主要技术参数

1大加工直径直            Ф500mm

2主轴精度难关              Ф530 mm

3主轴精度                  1um

4机订行程                 X轴：500 mm   Z轴：90 mm

5机床精度              X轴：±2 um（全行程）z轴：±2 um（全行程）

6X向溜板运动分辨率        1um

7Z向溜柏运动分辨率        0.1 um

8转台B轴回转分辨角度      71°

９转台Ｂ轴回转分辨率        0.001°

10切削进给速度            1～800 mm/min

11主轴转速                0～100r/min   大承载：10KG

12主轴电机功率            2KW（连续），AC

13进给伺服电机             X轴0.75kW ,AC     Z轴0.4kW，AC  B轴0.4 kW，AC

14机床总重              1800kg

15机床总功率              4kW

16控制电压表             380V±10%50Hz（三相）

17NC系统                 美国进口系统及特别授权应用

18机床的外型尺寸         1150 mm（长）×1200 mm（宽）×1250 mm（高）

结构及主要配置

1、 床身采用上等大理石，机器结构稳定不变形；采用立式主轴结构。主轴承采用液体动静压结构，具有真空动密封接口。主轴工作台尺寸Ф530 mm。主轴轴端安装真空吸盘，真空嘛盘直径Ф480 mm，并设分区控制阀门。

2、 总体结构采用龙门式，双立柱支撑，立柱内侧跨距900 mm。

3、 X向溜板采用端士原装双V滚导轨，沿龙门横梁移动。闭环控制，位置传感器为德国Heidenhain光栅线位移传感器。。

4、 Z向溜板位于X向溜板上，采用高分辨率的伺服控制及闭环控制，位置传感器德国Heidenhain光栅线位移传感器。。

5、 工作转台位于X向溜板上，加工具尖可位于其中心点上。B轴采用半闭环控制。

6、 控制系统采用美国高品数控系统，系统分辨率为0.1 um 

7、 机床配有可移动操作平台，方便操作。

8、 机床配有对观察系统。

使用环境的要求

温工：19±1°C

湿度：<60%

室内洁净度：<0.1 um

气源：冻干且压强大于0.6P以上

适用于：

应用：光学玻璃、非球面镜头、有金属铜、铝、镍及树脂板材雕刻的高精度加工。

工界提供注塑光学零件所需要的各种模芯、直接加工各种塑料透镜和反射镜、并应用于手机触摸屏、光学玻璃片切割、PC按键、手机镜片、面板等高光产品产化加工；

标准配置：

1.主轴冷却系统；2.电子手轮；3.嘴；

4.高转速主轴；5.冷却油箱；6.工作灯；

7.自动回收废料装置；8.自动注油器；9.工具箱。

（按实际产品为准）