| 型号 | 工级六氟化 | 产商/产地 | 邵武飞化工有限公司 | | 钛含 | 99.99% | 产品等级 | 国 标 GB/T18867-2002 | | 执行标准 | :2008 | CAS | 6 |
性状:常温常压下为气态,它是一种无、无臭、无、无腐蚀性的气体。熔点-50.8°C,升华点或沸点为-63.8°C,气体密度6.16g/l(20°C,0.1MPa),在熔点时密度为2.51g/cm3,具有高的绝缘性和灭弧能力。用途:电子级高纯六氟化是一种理想的电子蚀刻剂,被大应用于微电子技术领域。 贮存:应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。 运输:长途运输时应附有GB19-73《危险货物包装标志》中指定标志。气瓶充装系数不大于1.33kg/L。 包装:应充装在洁净、干燥的无缝高压气瓶中,气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。(一般情况,使用气瓶公称压力为15MPa时,充装系数<1.37kg/L)。 注:氟气、试剂级氢氟、氟硅、氟硼以原标准为准。
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