Edwards STP用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能，大的制程灵活性。STP 已经由科学仪器、半导体和磁介行的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。
此 STP 泵在供货时带有入口筛网。
如需完整安装，请订购一台 STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。 应用 金属（铝）、钨和电介（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（物、氟化物和溴化物） 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD 溅射 离子注入源，射束线泵送端点 MBE 扩散 光致抗蚀剂脱模 晶体/晶膜生长 晶片检查 负载真空腔 科学仪器：表面分析、谱分析、电子显微镜 高能物理：射束线、加速器 放射线应用：融合系统、回旋 功能和势 的转子技术 大的制程灵活性 无油 低振动 高度可靠 免维护 的控制器设计 自动调整 自行诊断功能 直流电机驱动 无电池运行 紧凑型设计 占地面积小 半机架控制器 技术参数 | STP301 | STP603 | STP1003C | 入口法兰 | 100，CF100 | 160F | 200F | 出口 | KF25 | KF40 | KF40 | 抽速 | | | | N2 | 300 ls-1 | 650 ls-1 | 1000 ls-1 | H2 | 300 ls-1 | 550 ls-1 | 800 ls-1 | 压缩比 | | | | N2 | >108 | >108 | >108 | H2 | >2 x 104 | >105 | >105 | 加热时的极限压力（VG/ 法兰） | 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr) | 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr) | 10-7 Pa (10-9 Torr) | 加热时的极限压力（ICF 法兰） | 10-8 Pa (10-10 Torr) | 10-7 Pa (10-9 Torr) | 10-8 Pa (10-10 Torr) | 大连续出口压力（环境空气冷却） | 13 Pa (0.1 Torr) | 13 Pa (0.1 Torr) | 13 Pa (0.1 Torr) | 额定速度 | 48000 rpm | 35000 rpm | 35000 rpm | 启动时间 | 3 min | 6 分钟 | 6 分钟 | 高入口法兰温度 | 120 °C | 120 °C | 120 °C | 输入电压 | 100 至 120 (± 10%) V 交流或200 至 240 (± 10%) V 交流 | 100 至 120 (± 10) V 交流或200 至 240 (± 10) V 交流 | 100 至 120 (± 10) V 交流或至 240 (± 10) V 交流 | 启动时的功耗 | 0.55 kVA | 0.8 kVA | 0.8 kVA | 泵重 | 11 kg | 上一条产品：UDE-A陶瓷带引线保险管 下一条产品：韩国文具批发天克褪去的时光网格袋(B6)4款 |
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