概述 Edwards 半导体真空泵已经过现场应用明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。 应用 负载 输送 计 平版印刷 PVD 制程 PVD 预清洁 RTA 剥离/灰化 刻蚀 植入源 HDP CVD RTP SACVD MCVD PECVD LPCVD ALD 功能和势 化了设施消耗。 无需预防性维护。 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保。 整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒 堆积，从而降低了总体占地面积。 技术数据 | iH80 | iH160 | iH600 | iH1000 | iH1800 | 峰值速度 | 103 m3h-1 | 165 m3h-1 | 600 m3h-1 | 1000 m3h-1 | 1800 m3h-1 | | 61 cfm | 97 cfm | 353 cfm | 589 cfm | 1060 cfm | | 1717 l min-1 | 2750 l min-1 | 10000 l min-1 | 16670 l min-1 | 30000 l min-1 | 极限真空 | 1 x 10-2 mbar | 1 x 10-2 mbar | 7 x 10-4 mbar | 1 x 10-3 mbar | 1 x 10-3 mbar | | 7.5 x 10-3 Torr | 7.5 x 10-3 Torr | 5.3 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr | | 1 Pa | 1 Pa | 0.07 Pa | 0.1 Pa | 0.1 Pa | 典型轴封氮流 | 4 slm | 4 slm | 4 slm | 4 slm | 4 slm | 进气口连接 | 63 | 63 | 100 | 100 | 160 | 出口连接 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | 15 psi 压降下典型冷却水流 | 120 l h-1 | 120 l h-1 | 240 l h-1 | 240 l h-1 | 240 l h-1 | | 2 l min-1 | 2 l min-1 | 4 l min-1 | 4 l min-1 | 4 l min-1 | 重 | 240 kg | 244 kg | 415 kg | 430 kg | 502 kg | 极限功率输入 | 2.7 kW | 3.1 kW | 3.4 kW | 3.8 kW |
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