种类 | 废气处理设备 | | KANKEN TECHNO | 型号 | KT1000系列 | 处理浓度 | 250-3400L/min(mg/L) | 处理风 | -(m3/h) | 起燃温度 | 550~700℃(℃) | 空速 | - | 使用领域 | 各种废气排放 |
KT1000系列 | | | | | | 【KT1000M】 W:950×D:950×H:1900(mm) 【KT1000M-2k】 W:1500×D:1200×H:1900(mm) 【KT1000M-4k】 W:1800×D:1500×H:2100(mm)
| | | | 【KT1000M】 850L/min 【KT1000M-2k】 1700L/min 【KT1000M-4k】 3400L/min
| | | | 550~700℃
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| | | 借助内置的省电模式,相应的M - F是多尘式融合机。 | |
● | 300mm半導体製造厂、液晶生产厂等高負载废气处理。 | | |
| | | 【1ch対応】 W:1050×D:1100×H:1900(mm) 【2ch対応】 W:1200×D:1100×H:1900(mm) 【3、4ch対応】 W:1350×D:1100×H:1900(mm) | | | | 1200L/min(NF3含時:400L/min) | | | | 800~900℃ | | | | |
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| | | ● | 可加热1200℃高温、全氟化碳可实现安全稳定的运行。 | | |
| | | W:1050×D:1100×H:1900(mm) | | | | 200L/min | | | | 900~1200℃ | | | | |
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| | | | | | W:1050×D:1100×H:1900(mm) | | | | 200L/min(CF4含時:100L/min) | | | | 1000~1350℃ | | | | |
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