VOCs有机废气净化处理一般采用低温催化燃法，低温催化燃处理方式是借助催化剂的催化作用对尾气中有机物进行低温、高效、节能环保型的处理，从而实现达标排放悼的。催化燃反应是典型的气—固相催化反应，其实是在一定温度下，将吸附于催化剂表面的有机物(VOCs)及来自空气中的氧发生催化氧化反应，彻底氧化成无害的CO2和H2O，并释放反应热的过程。借助催化剂可大幅降低有机物的起燃温度，进行无焰燃，减少预热能耗及NOx的生成，其典型反应方程式为： 简易的VOCs有机废气净化处理工艺流程见下图：
流程图中高浓度有机废气中有机物总含一般约为1000mg/m3－10000mg/m3（浓度过高则用空气稀释），系统包含预加热、换热、催化、PLC自控模块等。生产废气经有组织捕集后，吸入净化系统内的热交换器，进行热交换预加热后，吸入到加热室补加热（达起燃温度时停止加热），达起燃温度的废气被吸入催化床，发生催化氧化式无焰燃，燃效率通常可达99%以上，完全可以达标排放。净化后的高温*气通过换热预加热入口废气至起燃温度，维持系统无加热功率运行。经预加热废气后的*气如果温度较高，还可用来加热新风或水而产生水蒸汽等，达到热能回用，降低废气处理及生产能耗。
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