奥林巴斯STM7工具测显微镜
通过整合光学显微镜的测能力实现精确测
多年的显微镜开发经验成了异的观察性能
奥林巴斯STM7工具测显微镜系列采用了当前zui光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被完全消除，以确保实现对微小细节的高精度测。
作为高度测的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测
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共聚焦自动对焦系统光路
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随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测也日趋重要——不仅是XY轴平面的测，而且Z轴方向的高精度测也成为必须。奥林巴斯成为个成功开发了测显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。
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严格的可追溯系统确保品可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测显微镜的精确度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。
测显微镜跟踪系统
STM7测显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
[常见问题]
Ÿ 短测行程无法满足较大样品的测需求。
Ÿ 目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。
Ÿ 由于可测的范围窄，无法将数较多的样品排列在载物台上，以实现性同时测。
[STM7解决方案]
共有四种独特的正方形测行程的载物台可供选用，分别为：50 mm×50 mm、100
mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有载物台会适合您要测的样品。
Ÿ 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测行程，这意味着可以不旋转样品实现大型样品的全部测，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询上海富莱光学、奥巴仪器。
使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]
大部分传统的测显微镜只可以测物镜或金相物镜，无法同时满足多种观察要求。
[STM7解决方案]
奥林巴斯STM7工具测显微镜可以通过安装一个测物镜适配器使用测物镜，而更换为物镜转盘后，便可使用金相物镜。这意味着， STM7将金相光学系统和测光学系统同时结合在一台测显微镜中。通过这种方式，无论是测大型样品还是精细样品，或是表面高度差异大的样品，STM7系列都可以对应并协助用户选择zui佳的观察方法。
测物镜
由于测物镜具有非常长的工作距离，因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候，无需担心物镜与样品之间发生接触。此外，借助测物镜的低倍率能力，可以观察到较大的视场。
金相物镜
可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是，在明场观察之外还可以对应暗场，偏光和微分干涉观察。
手动和电动调焦模式的选择
STM7测显微镜系列包括手动调焦和电动调焦两个系列
对于Z轴的上下调焦，有手动型和电动型两种系列供您选择。请根据样品和测内容选择您需求的机型，而不需要考虑载
物台的尺寸。所有的镜架均内置Z轴线性标尺，各种型号STM7都可以对应3轴测。
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手动Z轴调焦机型
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手动Z轴调焦机型提供了的成本效益——通过操作被广泛使用的调焦旋钮，可以快速的上下移动Z轴。为测具有各种高度样品的用户提供了方便。
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电动Z轴调焦机型
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使用电动调焦装置可以大幅提高操作性，并减少了进行聚焦和高度测时的操作疲劳。粗微调焦的同轴旋钮设计使使用者可以以习惯的类似手动的方式进行操作，同时电动机型还可以配备自动聚焦单元。
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一个具有突破性设计的控制单元大幅提升了测显微镜的操作性
[常见问题]
Ÿ 增加功能时需要添置额外的操作单元。操作者需要同时操作多个单元而导致无法地进行测。操作时也经常会发生找不到操作单元的情况。
Ÿ 增加功能时需要添置额外的操作单元。操作者需要同时操作多个单元而导致无法地进行测。操作时也经常会发生找不到操作单元的情况。
[STM7解决方案]
控制装置
对于奥林巴斯STM7工具测显微镜系列，只要使用单一的操作装置能够执行几乎所有的测显微镜操作，包括重置计数器、照明控制、调焦和自动聚焦等功能。为了提和方便性，您可以将装置放在任何想要放置的位置，并可以轻松地单手操作。
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用于手动Z轴调焦机型：
STM7-HS手动操作装置
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用于电动Z轴调焦机型：
STM7-MCZ电动操作装置
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控制箱
各个单元的电源和通信均被集成在一个单一的控制箱中。即使是添加一些可选功能比如聚焦导航功能也不需要增加额外的电源装置，这样的设计可以zui地减少占用工作空间。
大大提高了观察和测效率的光源管理器
[常见问题]
Ÿ 传统测显微镜使用的模拟旋钮调节方式不能实现光强的定控制。这样每次测时的光强无法保持一致，导致测值也发
生变化。
Ÿ 使用传统测显微镜时，每次切换物镜后都需要调节光强，这使得工作流程非常低效。
[STM7解决方案]
能够定掌握光源亮度的数字式显示
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STM7测显微镜能够实现光强的定数字化显示，保了能在始终一致的照明条件下实施观察。
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物镜切换时，无需手动调节光强
光强度管理器可以与编码物镜转盘配置配套使用。带编码物镜转盘会自动识别目前使用的物镜，结合光源管理器的预设
值功能，可以为每个物镜注册照明方式和光强。这样每当切换物镜后，可以自动调节光强和调整照明方式。象以前每次
切换倍率后手动调节光强的操作，现在可以省略了。
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5倍
强度50
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20X
强度70
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100X
强度120
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可以放置在任意方便使用地方的可拆卸计数器，确保能迅速地检查测结果和设备状态。
[常见问题]
需要检查诸如照明状态等设备运行状以及测结果时，因为是在不同单元上显示使操作变得非常繁琐。
[STM7解决方案]
能一目了然确认当前状态的计数器
计数器带有显示设备状态和设置的指示灯，可以简单的实现对设备当前设定状态的确认。X、Y和Z轴的zui小单位可以在
0.1 μm和1 μm之间切换，此外，还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。
可满足个性化需求自由放置的可拆卸式计数器
无论是安装在镜架上还是放置在工作台上，可拆卸式计数器都可以根据用户的使用状况和使用习惯放置在zui佳位置。当用户
着进行测时，可以将计数器安装在和观察位置大致相同高度的镜架一侧，以方便轻松的观察和检查结果。当用户通过数码相
机在显示器上进行观察和测，或使用电动Z轴调焦机型时，只需将计数器和操作装置放在工作台上即可轻松地坐在椅子上进
行作。
高度测：聚焦导航系统
实现更快、更简单、更精确的高度测
[[常见问题]
进行目视测时，不同的操作者会测得不同的高度测值。此外，这种测方法非常耗时，效率低下。
[STM7解决方案]
具有越的重复性、简单且高度精确的聚焦系统
通过将图案投影在视场范围内，由操作者确认上下图案的重合情况，奥林巴斯的聚焦导航系统实现了重复性高的高度测操作。普通的目测观察进行高度测时，即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像，也会出现微小误差。而使用奥林巴斯STM7工具测显微镜的聚焦导航系统，只需匹配标记便可进行测，因此减少了操作者的主观性对测结果造成的影响。
目视高度测
聚焦导航系统
自动聚焦的势成快速、高精度的高度测
[常见问题]
Ÿ 进行目视测时，不同的操作者得出的高度测结果也会不一样。
Ÿ 手动高度测需要操作者反复进行移动载物台，使用旋钮调焦的操作，这使测既耗时又低效。
Ÿ 很难对微小的物体聚焦，比如引线。
[STM7解决方案]
快速、的聚焦和不受操作者主观影响的测
奥林巴斯开发了STM7系列的自动聚焦单元，该单元在实现快速聚焦的同时，保障了的对焦重复性。因此，无论操作
者的经验如何，均可以在很短的时间内实现高度精确的高度测。无论操作者的经验如何，使用STM7自动对焦单元均可
以在zui短时间内实现高度精确的高度测。即使是粗糙或倾斜的样品表面，利用主动反射、共聚焦方法都可以实现稳定对焦，而小直径的激光，也能保对微小物体，比如引线的自动对焦。
单次对焦模式
执行自动聚焦后，可瞬间完成从大致的聚焦状态转为视场中心的清晰对焦。
跟踪模式
启用具有特色的追踪模式后会随样品表面的高低起伏自动对焦，即使在移动工作台的情况下，也可以始终保持合焦状态。这使得操作者在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实施观察，从而极大地提高了Z轴的测效率。
旋转载物台
使用微调旋钮可以轻松实现对样品的平行对齐。
测支持系统
即使对复杂形状也能实现更快、更简单、更精确的测
对于显示测显微镜输出的数据和图像来说，看的越清楚也能更方便更快捷地使用和测。为了支持高精度、高复杂性的测，奥林巴斯测软件可以和数码照相机结合使用。更多详细内容可咨询上海富莱光学、奥巴仪器。
STM7规格
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小型手动镜架
STM7-
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小型电动镜架
STM7-A
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中型手动镜架
STM7-MF
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中型电动镜架
STM7-MAF
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大型手动镜架
STM7-LF
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大型镜架
STM7-LFA
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显微镜
镜架
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聚焦
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垂直移动范围
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175 mm
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145 mm
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zui大的测高度
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120 mm（配备测物镜）
175 mm（配备金相物镜）
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90 mm（配备测物镜）
145 mm*1（配备金相物镜）
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Z轴测分辨率
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0.1 μm
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Z轴驱动方法
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手动同轴
微调/粗调
焦旋钮
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电马达驱动：
●聚焦按钮：
移动速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗调焦旋钮：
微调焦速度（旋转
一周移动）
有4档可供选择
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm)
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手动同轴
微调/粗调
焦旋钮
|
电马达驱动：
●聚焦按钮：
移动速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗调焦旋钮：
微调焦速度（旋转
一周移动）
有4档可供选择
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm)
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手动同轴
微调/粗调
焦旋钮
|
电马达驱动：
●聚焦按钮：
移动速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗调焦旋钮：
微调焦速度（旋转
一周移动）
有4档可供选择
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm)
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照明
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LED照明
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白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明
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镜筒
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正像单目镜筒，正像三目镜筒(100:0/0:100)
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物镜
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测显微镜用
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MM6-OB系列
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金相显微镜用
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MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列
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目镜
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MM6-OCC10X (带十字线, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)
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载物台
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测范围
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STM7-CS50:
X轴 50 mm, Y轴 50 mm
STM7-CS100:
X轴 100 mm, Y轴 100 mm
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STM7-CS200:
X轴 200 mm, Y轴 200 mm
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STM7-CS300:
X轴 300 mm, Y轴 300 mm
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测精确度
(L：测长度)
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STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm
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(3+4L/200) μm
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(3+6L/200) μm
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精确度保重
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STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg
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10 kg
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15 kg
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计数器显示
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轴数
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3轴
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单位
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毫米/微米/英寸/密耳
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zui小分辨率
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0.1 μm
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外形尺寸（宽×长×高）（mm）
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466 x 583
x651
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466 x 583 x 811
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606 x 762 x 651
|
606 x 762 x 811
|
804 x 1024 x 686
|
804 x 1024 x 844
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重
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约84 kg
|
约92 kg
|
约152 kg
|
约159 kg
|
约277 kg
|
约284 kg
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额定功率
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100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A
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100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.3
|
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A
|
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.3
|
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A
|
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.3
|
*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。
物镜工作距离
|
倍率
|
1x
|
3x
|
5x
|
10x
|
20x
|
50x
|
100x
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物镜
|
|
测物镜
|
MM6-OB系列
|
59.6
|
76.8
|
65.4
|
50.5
|
-
|
-
|
-
|
|
金相物镜
|
MPLFLN系列
|
明场
|
-
|
-
|
20.0
|
11.0
|
3.1
|
1.0
|
1.0
|
|
LMPLFLN系列
|
长工作距离
|
-
|
-
|
22.5
|
21.0
|
12.0
|
10.6
|
3.4
|
|
MPLFLN-BD系列
|
明场/暗场
|
-
|
-
|
12.0
|
6.5
|
3.0
|
1.0
|
1.0
|
|
LMPLFLN-BD系列
|
明场/暗场
长工作距离
|
-
|
-
|
15.0
|
10.0
|
12.0
|
10.6
|
3.3
|
|