系统组成:扩散炉主机、推拉舟及净化工作台、气源柜、排柜、微机控制柜
扩散炉管数:1~4管
主要技术指标:
★炉管内径:Ø90~Ø350(2英寸~8英寸)
★恒温区长度及精度:
≤1000MM±0.5℃(300 ℃~1290 ℃)
★控温仪表:进口高精度温控仪
★气源路数:主管道1~4路
★气体种类:N2、H2、O2、HCL等
★气源控制:MFC或浮子流计
★推拉舟行程:大2000MM
★推拉舟速度范围及精度:(20~1000)
±2MM/MIN
★推拉舟方式:简易式、悬臂式、SIC硅桨式
★冷却方式:水冷+风冷
★工控机:工控机控制
设备特性:
具有多条工艺曲线,调用方便快捷;运行中具有停电记忆功能;
触摸微机界面,操作方便;具有超温保护功能。
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